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Nano/MicroSystemEngineeringLab

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研究紹介 -2022年度-

2022年度の研究紹介です。お気軽にお問い合わせください。

土屋グループ

リザバーSAWデバイスの開発

共振型加速度センサを用いた MEMSリザバーコンピューティング

円筒型圧電振動ジャイロの開発

MEMS振動子アレイのモード局在化とリザバー計算

モードマッチ(100)Siリングジャイロ

MEMSマイクロミラーアレイの同期振動

単結晶へき開面ナノギャップの物性

廣谷グループ

周波数領域サーモリフレクタンス

MXene/CNT薄膜の作製と電気化学特性評価

非線形熱伝導現象を用いた物理リザバーコンピューティング

フレキシブル3ωセンサの開発

Amit Banerjee Group

Training MEMS devices for forecasting epileptic-seizures

Diamond nanoresonators for sensing and information processing

シリコンナノ共振器のQ値

Ultrathin Si resonator for gas sensing

2023年3月25日News


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助教着任

霜降真希君が3月1日付で当分野の助教に着任しました。よろしくお願いいたします。

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研究室だより

電気学会センサ・マイクロマシン部門誌(E部門誌)5月号に当研究室の「研究室だより ...

Accelerometer Glass Gyroscope Ionic liquid lithium niobate microTAS Mirror Nanogap Reliability Reservoir Computing Resonator saw Silicon Tensile test Thermionic emission
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