Special Issue to Celebrate JMM’s 30th Anniversary

Journal of Micromechanics and Microengineeringの30周年記念特集に土屋教授のTopical Reviewが掲載されています。シリコンの機械的信頼性（破壊、疲労）についてまとめています。

Mechanical reliability of silicon microstructures
Toshiyuki Tsuchiya 2022 J. Micromech. Microeng. 32 013003