(100)単結晶シリコンリングジャイロ
近年、IoT社会の到来によりセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS振動リング型ジャイロは小型・低価格・高性能であることから、注目を集めている。先行研究では、一般的に使用されている材料より ...
超高感度ガスセンサに向けた極薄シリコン振動子
Nano-scale mechanical resonator devices are considered potential candidates for building ultrasensit ...
MEMS結合振動子によるリザバーコンピューティング
ニューロモーフィック・コンピューティングのハードウェア実装手法において，リザーバーコンピューティング（RC）は、有力な候補の一つとして期待されています。我々はRCにおける物理的なリザーバーとして、静電 ...
MEMSを用いた情報処理
リザバーコンピューティング（RC）とは時系列で変化する信号に対し,分類や予測などを行う際に用いられる機械学習手法の一つである．量子やスピン波などのマイクロ・ナノレベルで実現可能な非線形ダイナミクスの潜 ...
(100) Si円環型振動ジャイロ
A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyrosc ...
ニオブ酸リチウム単結晶ディスク圧電ジャイロ
MEMS振動ジャイロの大幅な性能向上を目的として単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した．弾性特性，圧電特性において結晶異方性を有するニオブ酸リチウムでモードマッチングしたワ ...
リング型ジャイロの静電チューニング
MEMS振動ジャイロの性能向上には振動子の剛性を等方的にする必要があります．静電チューニングとは振動子の剛性が等方的にするため，静電力を加え振動子の剛性を調節する手法です．本研究では(100)単結晶シ ...
MEMS リザバーコンピューティング
リザバーコンピューティング(RC)は学習コストが小さい機械学習手法であり, 分散された情報端末に実装することでネットワーク負荷の緩和やリアルタイム処理の実現が期待されています. 本研究では, シリコン ...