ニオブ酸リチウム単結晶ディスク圧電ジャイロ
単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した．
Geometrical Compensation for Mode-Matching of (100) Silicon Ring Resonator for Vibratory Gyroscope
A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyrosc ...
幾何学的補償を用いた (100) 単結晶シリコンモードマッチ振動リングジャイロスコープ
MEMS gyroscopes for measuring rate or angle of rotation can be used to provide heading information f ...
10×10静電容量型加速度センサアレイ
静電容量型加速度センサは携帯電話，自動車など幅広く利用されています．本研究の目的はこのセンサの高感度化を行うことです．このため感度のスケール効果に着目し,体積を変えずに感度を向上させるアレイ構造を提案 ...
寸法効果を用いたサブミクロンギャップ静電容量加速度センサアレイ
静電容量型MEMS加速度センサは民生品,自動車など幅広く利用されています. 本研究の目的は高感度,低ノイズ化です.本研究では感度の寸法効果に着目し,体積を変えずに感度を向上させるアレイ構造を提案し,実 ...
3軸加速度センサのマトリックス感度校正
3軸加速度センサの感度をベクトル量で表す「マトリックス感度校正」が提案されています．本手法の実用化のためには複数個のセンサを並べて同時に測定する技術が必要です．本研究では測定の際に問題となる振動台の回 ...
振動ジャイロの加速度感度
We investigated the source of acceleration sensitivity in fabricated tuning fork gyroscope (TFG) by ...
Developing MEMS Tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity
MEMS technology provide us low cost, high functionality, small size, and easily integrated with ASIC ...