Ultrathin Si resonator for gas sensing
Nano-scale mechanical resonator devices have emerged as promising candidates for constructing ultras ...
リザバー計算技術を用いた知能共振加速度センサの開発
MEMSセンサの小型化と知能化を目指し, 加速度センサ内部の梁の微小振動を計算資源として利用可能なリザバーコンピューティングを用いて, 検出した加速度信号の学習・識別が可能な共振加速度センサの開発を ...
円筒型圧電振動ジャイロ
近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている．そんな中小型、低価格、高性能であるMEMS圧電振動ジャイロが注目を集めている。先行研究では高 ...
(100)単結晶シリコンリングジャイロ
近年、IoT社会の到来によりセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS振動リング型ジャイロは小型・低価格・高性能であることから、注目を集めている。先行研究では、一般的に使用されている材料より ...
超高感度ガスセンサに向けた極薄シリコン振動子
Nano-scale mechanical resonator devices are considered potential candidates for building ultrasensit ...
MEMS結合振動子によるリザバーコンピューティング
ニューロモーフィック・コンピューティングのハードウェア実装手法において，リザーバーコンピューティング（RC）は、有力な候補の一つとして期待されています。我々はRCにおける物理的なリザーバーとして、静電 ...
MEMSを用いた情報処理
リザバーコンピューティング（RC）とは時系列で変化する信号に対し,分類や予測などを行う際に用いられる機械学習手法の一つである．量子やスピン波などのマイクロ・ナノレベルで実現可能な非線形ダイナミクスの潜 ...
(100) Si円環型振動ジャイロ
A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyrosc ...