シリコンナノ共振器のQ値

ナノ共振器はナノスケールの幅寸法を有する梁を用いた振動子のことであり、タンパク質量や原子間力といった微小な物理量を測定する高感度センシングに応用されている。微小な質量や力の影響を受けて共振周波数が変化 ...
モードマッチ(100)Siリングジャイロ

近年、IoT社会の到来でセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS円環型振動ジャイロが注目されています。先行研究では、加工コストが低く材料特性のばらつきが小さい(100)単結晶シリコンを材料 ...
フレキシブル3ωセンサの開発

流体の熱物性の情報はデバイスの熱設計や熱特性の評価に必要不可欠です。本研究では流体の熱物性計測を目指し、その計測手法として3ω法に注目しています。従来の3ωセンサでは基板への熱散逸により感度が低下する ...
Ultrathin Si resonator for gas sensing

Nano-scale mechanical resonator devices have emerged as promising candidates for constructing ultras ...
リザバー計算技術を用いた知能共振加速度センサの開発

MEMSセンサの小型化と知能化を目指し, 加速度センサ内部の梁の微小振動を計算資源として利用可能なリザバーコンピューティングを用いて, 検出した加速度信号の学習・識別が可能な共振加速度センサの開発を ...
円筒型圧電振動ジャイロ

近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている.そんな中小型、低価格、高性能であるMEMS圧電振動ジャイロが注目を集めている。先行研究では高 ...
(100)単結晶シリコンリングジャイロ

近年、IoT社会の到来によりセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS振動リング型ジャイロは小型・低価格・高性能であることから、注目を集めている。先行研究では、一般的に使用されている材料より ...
超高感度ガスセンサに向けた極薄シリコン振動子

Nano-scale mechanical resonator devices are considered potential candidates for building ultrasensit ...