Research

角速度センサや共振ミラー等のMEMSデバイスを真空雰囲気に封止する新技術の研究を行っています。

DNAオリガミ混合物を精製するため誘電泳動を用いたマイクロ流体デバイスを提案し，デバイスの試作を行った．

単結晶シリコンのへき開破壊によるナノギャップ形成と，ギャップ間隔制御，電流計測が可能なデバイス

MEMSミラーデバイスは主にSOIウエハとバルクシリコンウエハの2種類から作製され，製法によりデバイスの形状やコストの点に違いがあります．本研究では，2種類のウエハからそれぞれミラーデバイスを作製し， ...

In order to shorten testing time on tensile-mode fatigue testing of single crystal silicon micro str ...

A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyrosc ...

熱電子発電は高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し，発電を行う．本来，熱電子発電では1000℃程度の高温が必要であるが，エミッタとコレクタの距離をナノスケールにまで小さくしたもの ...

真空による高熱絶縁性や、ギャップ間隔がナノメートルオーダの電極間における熱電子放出・電界電子放出による高い導電性により，真空ナノギャップが小型で高効率の熱発電デバイスとして期待されている．大面積かつ平 ...