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せん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計,作製し高い負荷周波数での引張疲労試験の実現を目指します.

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X線1分子動態計測法は,標的イオンチャネルに修飾した金ナノ結晶に白色X線を照射し,金ナノ結晶からのX線回折点の運動を動画計測することで,イオンチャネルの動的構造変化を計測する手法です.従来の観測チャン ...

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Comparing with the mature SOI-based micro mirror resonator, the Si-based micro mirror resonator is p ...

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Siで構成されるMEMSアクチュエータと,構造を封止する透明材料の接合プロセスとして水蒸気プラズマ処理を用い,常温での異種材料接合を行いました.

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A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyrosc ...

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単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した.

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Niめっき膜をマスクとしたガラスの貫通穴加工

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角速度センサや共振ミラー等のMEMSデバイスを真空雰囲気に封止する新技術の研究を行っています。