Research

MEMS振動ジャイロの性能向上には振動子の剛性を等方的にする必要があります．静電チューニングとは振動子の剛性が等方的にするため，静電力を加え振動子の剛性を調節する手法です．本研究では(100)単結晶シ ...

超小型宇宙機に搭載可能な推進機として注目されているイオン液体エレクトロスプレースラスタ(ILEST)の開発を行っています. ILESTはイオン液体を推進剤として用い，電圧印加によりイオンを引き出すこと ...

リザバーコンピューティング(RC)は学習コストが小さい機械学習手法であり, 分散された情報端末に実装することでネットワーク負荷の緩和やリアルタイム処理の実現が期待されています. 本研究では, シリコン ...

熱ストレスの小さいMEMS真空封止技術を実現することを目的として，ナノスケール厚で積層させたAl/Ni膜の合金化反応熱を局所加熱源として用いる手法を提案する．本研究では，MEMS振動子を作製したチップ ...

原子固有の量子力学的な現象を利用したセンサは小型化，低消費電力化に加えて，測定性能の向上が期待されています．当研究室では，センサの重要な構成要素の一つである，ガスセルの新たな作製方法を研究しています． ...

電極間の熱電子放出による電子移動における量子効果の寄与と，真空による高い熱絶縁性により，真空ナノギャップを熱と電気を高効率に直接変換できる素子として応用することが期待されている．ナノギャップ作製手法と ...

A Nanoscale mechanical resonator can be used as an efficient mass-sensor since a miniscule variation ...

近年,マイクロ流体デバイス内でヒト由来細胞を培養し,生体外でヒトの生体機能を高度に模倣するOrgan on a Chipが,信頼性の高い創薬スクリーニング手法として期待されています。当研究室では,Or ...