単結晶シリコン製マイクロミラーの信頼性
The purpose of this research is to realize high fracture strength and long fatigue life micromirrors ...
a-C:H多層膜被覆によるSi構造の強靭化
The a-C:H (Hydrogenated Amorphous Carbon) film is one of the promising coating material in MEMS indu ...
せん断型ひずみゲージ集積化単結晶Si並列引張試験デバイス
せん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計，作製し高い負荷周波数での引張疲労試験の実現を目指します．
バルクSiとSOIで作製したマイクロミラーの信頼性
Comparing with the mature SOI-based micro mirror resonator, the Si-based micro mirror resonator is p ...
振動型ミラーに用いる単結晶シリコン梁のねじり強度の加工プロセス依存性評価
MEMSミラーデバイスは主にSOIウエハとバルクシリコンウエハの2種類から作製され，製法によりデバイスの形状やコストの点に違いがあります．本研究では，2種類のウエハからそれぞれミラーデバイスを作製し， ...
せん断型ひずみゲージ集積化単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス
In order to shorten testing time on tensile-mode fatigue testing of single crystal silicon micro str ...
Tensile behaviors of micron-scaled silicon structure fully coated with sub-micro meter thick DLC film deposited using PECVD
DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising coating material in MEMS industry deal to its ...
せん断型ひずみゲージ集積化 単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス
単結晶シリコンマイクロ構造について多数の試験片の引張疲労試験を短時間で行うためのデバイス開発を行っております．本研究では，荷重センサとして高剛性なせん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイ ...