単結晶シリコン製マイクロミラーの信頼性

The purpose of this research is to realize high fracture strength and long fatigue life micromirrors with low cost. W ...
a-C:H多層膜被覆によるSi構造の強靭化

The a-C:H (Hydrogenated Amorphous Carbon) film is one of the promising coating material in MEMS industry due to its m ...
せん断型ひずみゲージ集積化単結晶Si並列引張試験デバイス

せん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計,作製し高い負荷周波数での引張疲労試験の実現を目指します.
バルクSiとSOIで作製したマイクロミラーの信頼性

Comparing with the mature SOI-based micro mirror resonator, the Si-based micro mirror resonator is possible to provid ...