大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築
MEMSデバイスは半導体微細加工技術を用い，微小な機械構造を電子回路とともに作りこむものです．そのためMEMSデバイスの設計や解析においては電気系・機械系の複雑な練成解析が必要となります．そこで，電気系と機械系を一度に解析することができる電 […]
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シリコン基板のDNA修飾によるDNAオリガミのセルフアセンブル
ナノメートルスケールの材料を基板上に組み付けることで，さらに高機能のMEMSを実現する実装技術に関する研究を行っています．従来法に比べて格段に高い位置精度かつ比較的短時間でナノ材料を基板上に組付ける技術を確立するために，我々はナノ材料を組付 […]
エポキシ系化学増幅型ネガレジストの機械的特性の評価
ポリマー製マイクロ流体デバイスの高機能化のための付加構造として，ポリマー架橋度を制御することでエポキシ系ネガレジストが発現するフィルタ機能に関する研究を行っています。本研究では，フィルタ構造設計に重要となる架橋度と機械的特性(弾性率・ […]
高速脈動混合マイクロ流体デバイスによる均一粒子径金ナノ粒子の合成
高速脈動混合を利用することで均一なサイズの金ナノ粒子を合成する研究をしています．金ナノ粒子はサイズによって異なる特性を示すため，それぞれの応用目的に適したサイズの粒子を均一に合成する技術が必要とされています．そこで本研究では3方向脈動混合法 […]
原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止
幅広い応用分野での活躍が期待される原子磁気センサで中心的役割を果たすセル(アルカリ金属蒸気と不活性ガスを気密封止したガラス容器)内の雰囲気制御性の向上を目指した新規なMEMS気密封止技術の確立に取り組んでいます．提案手法のコンセプトは，セル […]
エポキシ系ネガレジストを用いた分子フィルタ付マイクロ流路の作製
紫外線（UV）リソグラフィ技術を応用し、マイクロ流路などの３次元微小構造を加工する技術が注目を集めています。当研究室ではこれまでに、オリジナルな３次元リソグラフィ技術である移動マスク露光法を応用したエポキシ系ネガレジスト製マイクロ流路の […]
マイクロ流体デバイスを用いたDNAオリガミのセルフアセンブル
数千塩基長のDNAを折り畳んで形成するDNAオリガミ（100 nm角、2 nm厚程度）は、金ナノ粒子などの様々なナノ材料をnmオーダの精度で配置することが可能です．このナノ材料で機能化したDNAオリガミをナノスケールのビルディングブロックと […]
自己変位検出型静電櫛歯モデルを用いたMEMS振動ジャイロの電気等価回路解析
本研究では，電気等価回路の静電容量型ジャイロの設計への応用を目指しております．静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムです．そのためシステム全体を等価な回路で表現し，周辺回路を含めたデバイス全体を統合 […]
電気泳動速度の違いを利用したナノ粒子形状別分離マイクロ流体デバイス
金ナノ粒子が示す局在表面プラズモン共鳴によって，粒子表面近傍では非常に強い光電場増強が起こります．これは表面増強ラマン分光（Surface Enhanced Raman Spectroscopy: SERS）による高感度化学分析に期待されて […]
ナノ・マイクロ加工の将来とナノハブへの期待 【5月11日】
去る５月１１日に「京都大学・次世代低炭素ナノデバイス創製ハブ」の開設に関連して，「ナノ・マイクロ加工の将来とナノハブへの期待」シンポジウムを開催しました． 今回はナノ・マイクロ分野の第一線でご活躍される著名な４人の先生に，ナノ・マイクロ加工 […]
次世代低炭素ナノデバイス創製ハブ 【HP公開】
当研究室の田畑，土屋，菅野，平井が運用協力メンバーとして参画する「低炭素研究ネットワーク・次世代低炭素ナノデバイス創製ハブ拠点」のＨＰが公開されました． ■ 京都大学・次世代低炭素ナノデバイス創製ハブ拠点http://www.mnhub.c […]
４回生 研究室配属決定
４回生の研究室配属（４名）が決定しました． 皆さま，よろしくお願いします． 鈴木 淳也： Junya SUZUKI 中野 篤 ： Atsushi NAKANO 松井 大門： Daimon MATSUI 田村 尚之： Naoyuki TAMU […]