自己変位検出型静電櫛歯モデルを用いたMEMS振動ジャイロの電気等価回路解析


 本研究では,電気等価回路の静電容量型ジャイロの設計への応用を目指しております.静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムです.そのためシステム全体を等価な回路で表現し,周辺回路を含めたデバイス全体を統合的に解析する電気等価回路が有効であると期待されます.我々は新規に提案した静電櫛歯トランスデューサの等価回路を用いジャイロの特性の評価を行いました.この結果は実測とよく一致し,提案したモデルが統合解析可能であることを示しました.

uid000001_20110521093542d29a6ba3

uid000001_201105211033573cae5232  uid000001_201105210936057ff9f132

【研究発表】
[Papers]

  • 徳崎裕幸, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, 「自己変位検出昨日を有する面内2自由度静電櫛歯トランスデューサの等価回路」, IEEJ Trans.SM, Vol.130, No.9, 2010,pp443-449

 [International Conferences]

  • H. Tokusaki, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, and O. Tabata“ Component modeling of 2DOF comb transducer for equivalent circuit using built-in displacement detection”, APCOT2010, Australia, July 2010
  • H. Tokusaki, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, and O. Tabata “Equivalent circuit analysis of micromechianical resonator using comb transducer model with built-in displasement detection”, IEEE-NEMS 2011, Taiwan, Feb 2011

[Domestic Conferences]

  • 徳崎裕幸, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, 「直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築」,日本機械学会 2009年年次大会
  • 徳崎裕幸, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, 「直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築」,電気学会 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(2009/10)
  • 徳崎裕幸, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, 「自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析」,日本機械学会 第2回マイクロ・ナノ工学シンポジウム(2010/10)