MEMSデバイスは半導体微細加工技術を用い，微小な機械構造を電子回路とともに作りこむものです．そのためMEMSデバイスの設計や解析においては電気系・機械系の複雑な練成解析が必要となります．そこで，電気系と機械系を一度に解析することができる電気機械等価回路による解析が期待されています．しかし従来の等価回路モデルや解析法では大変位による非線形性を解析することができません．本研究では大変位時の非線形性を解析できる等価回路モデル構築を目的とし，非線形要素として，両持ち梁の示す硬化ばね，櫛歯形状電極が示す非線形な静電引力の等価回路モデルの構築・妥当性検証を進めています．
