論文掲載-Sensors and Actuators A:Physical

アモルファスカーボンを被覆することで単結晶シリコン振動子のねじり強度を向上させた研究についての論文がSensors and Actuators A: Physical に掲載されました。

Yuanlin Xia, Lei, Zhong, Jiaxing Tan, Zhuqing Wang, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya
Alternating a-C:H Coating Effect on Torsional Strength of Silicon Beam for Micromirrors
Sensors and Actuators A: Physical 363, 114713 (2023).
DOI: 10.1016/j.sna.2023.114713

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