アルカリ金属ガスセル作製プロセスの開発
原子固有の量子力学的な現象を利用したセンサは小型化,低消費電力化に加えて,測定性能の向上が期待されています.当研究室では,センサの重要な構成要素の一つである,ガスセルの新たな作製方法を研究しています. ...
リザバー計算技術を用いた知能共振加速度センサの開発
MEMSセンサの小型化と知能化を目指し, 加速度センサ内部の梁の微小振動を計算資源として利用可能なリザバーコンピューティングを用いて, 検出した加速度信号の学習・識別が可能な共振加速度センサの開発を ...
円筒型圧電振動ジャイロ
近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている.そんな中小型、低価格、高性能であるMEMS圧電振動ジャイロが注目を集めている。先行研究では高 ...
二段電極型イオン液体エレクトロスプレースラスタ
超小型宇宙機に搭載可能な新たな推進機として注目されているイオン液体エレクトロスプレースラスタ(ILEST)の開発を行っています.ILESTはイオン液体を推進剤として用い,電圧印加によりイオンを引き出す ...
(100)単結晶シリコンリングジャイロ
近年、IoT社会の到来によりセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS振動リング型ジャイロは小型・低価格・高性能であることから、注目を集めている。先行研究では、一般的に使用されている材料より ...
経上皮電気抵抗(TEER)測定マイクロ流体デバイスの開発
近年,マイクロ流体デバイス内でヒト由来細胞を培養し,生体外でヒトの生体機能を高度に模倣するOrgan on a Chipが,信頼性の高い創薬スクリーニング手法として期待されています。当研究室では,Or ...
超高感度ガスセンサに向けた極薄シリコン振動子
Nano-scale mechanical resonator devices are considered potential candidates for building ultrasensit ...
単結晶シリコン製マイクロミラーの信頼性
The purpose of this research is to realize high fracture strength and long fatigue life micromirrors ...