Research

Nanoresonators are capable of ultrasensitive sensing and efficient information processing. Use of di ...

物理ダイナミクスを計算資源として活用する物理リザバーコンピューティングと端末側に情報処理の役割を担わせるエッジコンピューティングの融合を目指し、MEMSである表面弾性波（SAW）デバイスの開発を行って ...

非線形物理ダイナミクスを計算資源として活用できるリザバーコンピューティングはポスト・ムーアのコンピューティング技術の１つとして期待されています。本研究は非線形MEMS共振器を有する共振型加速度センサを ...

近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている．そんな中小型、低価格、高性能であるMEMS圧電振動ジャイロが注目を集めている。先行研究では高 ...

２次元層状のナノ材料であるMXeneは優れた電気化学特性を示し、豊富な官能基を持つことから、様々な電気化学デバイスへの応用に注目されている。そこで、本研究ではMXeneとカーボンナノチューブの複合体薄 ...

近年、高速かつ省消費電力な機械学習の実装方法として物理リザバーコンピューティング（PRC）が注目されています。本研究ではMEMS振動子アレイを用いたPRC  の設計論確立に向け、振動モードの局在化がリ ...

ナノ共振器はナノスケールの幅寸法を有する梁を用いた振動子のことであり、タンパク質量や原子間力といった微小な物理量を測定する高感度センシングに応用されている。微小な質量や力の影響を受けて共振周波数が変化 ...

近年、IoT社会の到来でセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS円環型振動ジャイロが注目されています。先行研究では、加工コストが低く材料特性のばらつきが小さい(100)単結晶シリコンを材料 ...