シリコン基板のDNA修飾によるDNAオリガミのセルフアセンブル
ナノメートルスケールの材料を基板上に組み付けることで，さらに高機能のMEMSを実現する実装技術に関する研究を行っています．従来法に比べて格段に高い位置精度かつ比較的短時間でナノ材料を基板上に組付ける技術を確立するために，我々はナノ材料を組付 […]
Research
エポキシ系化学増幅型ネガレジストの機械的特性の評価
ポリマー製マイクロ流体デバイスの高機能化のための付加構造として，ポリマー架橋度を制御することでエポキシ系ネガレジストが発現するフィルタ機能に関する研究を行っています。本研究では，フィルタ構造設計に重要となる架橋度と機械的特性(弾性率・ […]
高速脈動混合マイクロ流体デバイスによる均一粒子径金ナノ粒子の合成
高速脈動混合を利用することで均一なサイズの金ナノ粒子を合成する研究をしています．金ナノ粒子はサイズによって異なる特性を示すため，それぞれの応用目的に適したサイズの粒子を均一に合成する技術が必要とされています．そこで本研究では3方向脈動混合法 […]
原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止
幅広い応用分野での活躍が期待される原子磁気センサで中心的役割を果たすセル(アルカリ金属蒸気と不活性ガスを気密封止したガラス容器)内の雰囲気制御性の向上を目指した新規なMEMS気密封止技術の確立に取り組んでいます．提案手法のコンセプトは，セル […]
エポキシ系ネガレジストを用いた分子フィルタ付マイクロ流路の作製
紫外線（UV）リソグラフィ技術を応用し、マイクロ流路などの３次元微小構造を加工する技術が注目を集めています。当研究室ではこれまでに、オリジナルな３次元リソグラフィ技術である移動マスク露光法を応用したエポキシ系ネガレジスト製マイクロ流路の […]
マイクロ流体デバイスを用いたDNAオリガミのセルフアセンブル
数千塩基長のDNAを折り畳んで形成するDNAオリガミ（100 nm角、2 nm厚程度）は、金ナノ粒子などの様々なナノ材料をnmオーダの精度で配置することが可能です．このナノ材料で機能化したDNAオリガミをナノスケールのビルディングブロックと […]
自己変位検出型静電櫛歯モデルを用いたMEMS振動ジャイロの電気等価回路解析
本研究では，電気等価回路の静電容量型ジャイロの設計への応用を目指しております．静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムです．そのためシステム全体を等価な回路で表現し，周辺回路を含めたデバイス全体を統合 […]
電気泳動速度の違いを利用したナノ粒子形状別分離マイクロ流体デバイス
金ナノ粒子が示す局在表面プラズモン共鳴によって，粒子表面近傍では非常に強い光電場増強が起こります．これは表面増強ラマン分光（Surface Enhanced Raman Spectroscopy: SERS）による高感度化学分析に期待されて […]
電気等価回路解析を利用した静電容量型ジャイロの開発
本研究では，電気等価回路解析により制御電圧を含めた静電容量型ジャイロの最適設計を目指しています．静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムです．そのためシステム全体を等価な回路で表現し，周辺回路を含めた […]
原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止
本研究は微小な磁場計測を行うことを目的とした原子磁気センサの作製プロセスに取り組んでいます．特にアルカリ金属蒸気と不活性ガスが封入された微小キャビティ（セル）を作製する際に，雰囲気制御と高い気密性実現する封止技術に着目しています．具体的には […]
顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力測定
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の設計およびその信頼性の定量的な評価には、微細構造に負荷される応力の評価が必要です。単結晶シリコン微細構造に静的な応力が負荷されている場合、顕微ラマン分光によって得 […]
マイクロスケールでのセルフアセンブルプロセスのモデリング
セルフアセンブルとは，MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）の高性能化に不可欠な，高密度，高精度の実装を可能にする実装技術として注目されているものです．本研究では，様々なセルフアセンブルプロセスに […]
