本研究では，電気等価回路解析により制御電圧を含めた静電容量型ジャイロの最適設計を目指しています．静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムです．そのためシステム全体を等価な回路で表現し，周辺回路を含めたデバイス全体を統合的に解析する電気等価回路による設計が有効であると期待されます．また，先行研究においては，周囲の機械構造や制御電圧に依存しない，独立した要素として静電櫛歯トランスデューサの等価回路モデルを構築し，今後は設計への応用が期待されております．そこで，構築した等価回路によって制御電圧によるジャイロの特性への影響評価が行えることに着目し設計を進めております．
【研究発表】
- Component modelling of 2DOF comb transducer for equivalent circuit using built-in displacement detection
Hiroyuki Tokusaki, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata,
The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010), Perth, Australia (July, 2010)