せん断型ひずみゲージ集積単結晶Si並列引張試験デバイス


単結晶シリコンマイクロ構造について多数の試験片の引張疲労試験を短時間で行うためのデバイス開発を行っております.本研究ではピエゾ抵抗効果のせん断効果を利用した高剛性なせん断型ひずみゲージ,およびそれを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計,試作し引張試験を行うことでデバイスの性能評価を行いました.試験構造の高剛性化によりアクチュエータの必要振幅を減少させ駆動周波数が向上することによる試験時間の短縮を図っております.

応用先

  • 単結晶シリコン破壊強度のデータベース化
  • 高信頼性なMEMSデバイスの設計指標

[論文]

  • A. Uesugi, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata, The 28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2015), 13P-11-124L.
  • K. Yasuda, A. Uesugi, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata, Integrated shear strain gauge for parallel tensile-mode fatigue testing device, International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016 (MNST 2016), The University of Tokyo, Japan (16 – 18 Dec. 2016).