単結晶シリコンねじり梁を用いた振動型ミラーの共振疲労試験

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ねじり梁を用いた振動型MEMSミラーは，ねじり梁に支持されたミラーを振動させることでレーザー光などの空間走査を実現するデバイスです．プロジェクタや距離画像センサといった用途として期待されており，ねじり梁の信頼性の把握が求められています．本研究では，このようなミラーの疲労試験システムを構築し，SOIウエハを用いて作製したデバイスで，ねじり梁の共振疲労試験を行っています．

【応用先】

  • プロジェクタ
  • 距離画像センサ

【論文・学会発表】