Daily Archives: 2011/05/21

エポキシ系ネガレジストを用いた分子フィルタ付マイクロ流路の作製

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  紫外線（UV）リソグラフィ技術を応用し、マイクロ流路などの３次元微小構造を加工する技術が注目を集めています。当研究室ではこれまでに、オリジナルな３次元リソグラフィ技術である移動マスク露光法を応用したエポキシ系ネガレジスト製マイクロ流路の […]

自己変位検出型静電櫛歯モデルを用いたMEMS振動ジャイロの電気等価回路解析

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　本研究では，電気等価回路の静電容量型ジャイロの設計への応用を目指しております．静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムです．そのためシステム全体を等価な回路で表現し，周辺回路を含めたデバイス全体を統合 […]