第２回電気学会センサ・マイクロマシン部門奨励論文賞
徳崎裕幸君が第２回電気学会センサ・マイクロマシン部門奨励論文賞を受賞しました．また表彰式が６月３０日の電気学会・Ｅ部門総合研究会で行われました． 本論文賞は卒業・修了時期である電気学会学生会員からの投稿を促し，今後の研究，開発活動を奨励する […]
Monthly Archives: May 2011
次世代低炭素ナノデバイス創製ハブ拠点・開設式 【5月26日】
田畑，土屋，菅野，平井が運用協力メンバーとして参画する「低炭素研究ネットワーク・次世代低炭素ナノデバイス創製ハブ拠点」の開所式が５月２６日に行われました． 文部科学省「低炭素社会構築に向けた研究基盤ネットワーク整備」事業の一環として，本研究 […]
京都大学工学部紹介ビデオ 【21世紀と向き合う最先端工学】
京都大学工学部の紹介ビデオ「ようこそ京都大学工学部へ」に， iCAN2009で活躍した田畑研チーム（牧野・西野・中井・片岡・谷山）の 「音が?出るエアギター・MEMG(Meccha Enjoy Music Guitar)」が登場しています． […]
HARMST 2011
６月１２日~１８日に台湾・新竹で開催されたHARMST 2011（http://www.harmst2011.tw/）で 田畑研究室から平井が参加し，下記の発表を行いました． 次回のHARMST2013は，２０１３年６月にドイツ・ベルリンで […]
超音波振動によるDNAオリガミのセルフアセンブル収率向上
超音波振動によるDNAオリガミのセルフアセンブル収率向上 次世代の微細加工技術として，DNAで作成される100nmオーダーの2次元構造体のDNAオリガミを利用して，ナノスケールの多種多様な材料をMEMSに実装する研究を行っています．複数種類 […]
顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン微細構造の動的応力解析
振動する単結晶シリコン微細構造に負荷される瞬間ごとの応力の実験的な評価を目指しています。本研究は、単結晶シリコンを主な構成材料とするMEMS構造の機械的な信頼性評価・保証に役立つことが期待されます。応力評価には、顕微ラマン分光法を用います。 […]
Developing MEMS Tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity
MEMS technology provide us low cost, high functionality, small size, and easily integrated with ASIC. Therefore, MEMS vi […]
金ナノロッドの基板上成長を応用したナノギャップ電極の作製
単分子トランジスタなどのナノデバイスの実現に向け、数nmの間隔を持つ対向電極（ナノギャップ電極）を効率的に作製する手法が求められている。本研究では金ナノロッドと呼ばれる棒状のナノ粒子を絶縁膜基板上で成長させることで、ナノギャップを有するナノ […]
MEMSデバイスを用いたCarbon Nanotube引張試験
統計評価可能な測定数実現をめざし、カーボンナノチューブ（CNT）引張試験法を開発しています。CNTは極めて微小なため欠陥がその強度に大きく影響し、測定結果がばらつくことが予想されます。しかし、従来の測定法ではCNTを測定系に組み込む工 […]
大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築
MEMSデバイスは半導体微細加工技術を用い，微小な機械構造を電子回路とともに作りこむものです．そのためMEMSデバイスの設計や解析においては電気系・機械系の複雑な練成解析が必要となります．そこで，電気系と機械系を一度に解析することができる電 […]
シリコン基板のDNA修飾によるDNAオリガミのセルフアセンブル
ナノメートルスケールの材料を基板上に組み付けることで，さらに高機能のMEMSを実現する実装技術に関する研究を行っています．従来法に比べて格段に高い位置精度かつ比較的短時間でナノ材料を基板上に組付ける技術を確立するために，我々はナノ材料を組付 […]
エポキシ系化学増幅型ネガレジストの機械的特性の評価
ポリマー製マイクロ流体デバイスの高機能化のための付加構造として，ポリマー架橋度を制御することでエポキシ系ネガレジストが発現するフィルタ機能に関する研究を行っています。本研究では，フィルタ構造設計に重要となる架橋度と機械的特性(弾性率・ […]
