Silicon

小型で低価格なセンサの需要が高まる中，回転時に生じるコリオリ力により変化した振動方向の検出により角度や角速度を測定できるMEMS振動ジャイロが注目されている．先行研究では数値解析で寸法を最適化している ...

8/5(月)10時より余未(Yu, Wei)君の博士学位論文公聴会を開催します。

アモルファスカーボンを被覆することで単結晶シリコン振動子のねじり強度を向上させた研究についての論文がSensors and Actuators A: Physical に掲載されました。

近年、IoT社会の到来でセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS円環型振動ジャイロが注目されています。先行研究では、加工コストが低く材料特性のばらつきが小さい(100)単結晶シリコンを材料 ...

Nano-scale mechanical resonator devices are considered potential candidates for building ultrasensit ...

A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyrosc ...

せん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計，作製し高い負荷周波数での引張疲労試験の実現を目指します．

Comparing with the mature SOI-based micro mirror resonator, the Si-based micro mirror resonator is p ...