自己伝播発熱Al/Ni多層膜によるMEMS真空封止
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熱ストレスの小さいMEMS真空封止技術を実現することを目的として,ナノスケール厚で積層させたAl/Ni膜の合金化反応熱を局所加熱源として用いる手法を提案する.本研究では,MEMS振動子を作製したチップ ...
マイクロ流路一体化MEMSデバイス
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Siで構成されるMEMSアクチュエータと,構造を封止する透明材料の接合プロセスとして水蒸気プラズマ処理を用い,常温での異種材料接合を行いました.
Al/Ni多層膜の自己伝播発熱反応を用いたMEMS振動デバイスの真空封止
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角速度センサや共振ミラー等のMEMSデバイスを真空雰囲気に封止する新技術の研究を行っています。