電気等価回路を用いた静電櫛歯トランスデューサの解析
静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムでありセンサや光スイッチ等に広く利用されている．これらの解析には複雑な連成解析を要する．そこでシステムを等価な回路で表現し ...
ナノスケール材料引張試験用静電容量型MEMSデバイス
カーボンナノチューブ（CNT）やフラーレン（C60）に代表されるカーボンナノ材料の機械的性質評価について研究しています．我々は特に引張試験に着目し，これまで実現されていない，伸び検出分解能1nm，荷重 ...
薄膜材料の引張疲労試験・高温引張試験
材料のサイズが非常に小さくなると，その機械特性は従来のマクロスケールの材料とは異なります． しかしMEMSデバイスの構造設計に不可欠な薄膜材料の機械的物性（引張強度，ヤング率，疲労特性，etc.）のデ ...