Micromaterial

顕微ラマン分光法を用いて単結晶シリコン面外振動試験片に生じる動的局所応力の時間分解測定を目的としています．動的応力の時間分解測定には，顕微ラマン分光装置の励起光としてパルスレーザを用いる必要があるため ...

過酷環境下で動作するMEMSデバイスの信頼性向上のためには，機械特性に及ぼす周囲環境の影響の把握が重要です．MEMSで広く用いられる単結晶シリコンは室温では脆性破壊を起こし，高温では延性破壊を起こすこ ...

単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり，MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です．単結晶シリコンは脆性材料であることから，破壊強度はさまざまな要因によって大きく ...

MEMSは振動環境下にさらされる工業製品に搭載されることがあり，工業製品の信頼性向上には，振動により内部のMEMSに生じる動的な応力を測定することが有用であると考えられます．本研究では時間分解顕微ラマ ...

SWCNT（単層カーボンナノチューブ）は優れた機械特性を示すことが知られています．しかし，その小ささゆえに実験データは多く得られていません．そこで我々は一括作製可能なMEMSによるSWCNT引張試験を ...

MEMSの主な構造材料は，シリコン，シリコン化合物，金属薄膜などです． シリコンの機械的特性には温度依存性があることが知られていましたが，近年，寸法依存性があることも報告されており，その機械的特性の寸 ...

MEMSデバイスの構造材料として，半導体材料であるシリコンは広く用いられていますが，脆性材料であることからその機械的信頼性が課題となっています．マイクロ構造の引張試験，疲労試験などの試験手法の開発から ...

Siナノワイヤは機械的・電気的特性に優れ，これをナノスケール構造体要素として用いた幅広い応用デバイスが注目されています．これらのデバイスの実現と信頼性の向上のため，MEMS構造体への一括集積化技術とそ ...