架橋構造シリコンナノワイヤのMEMS集積化と引張強度評価
シリコンナノワイヤ(SiNW)は優れた機械的・電気的特性を有することから，これを構造体要素として用いた幅広い応用デバイスが注目されています．応用デバイスの実用化と信頼性の向上には，実際に応用デバイスで用いられるSiNWと同一の作製プロセスを […]
Research
MEMS fabricated conformal electrodes for thermotunneling cooling
A microelectromechanical system (MEMS) is being developed for controlled fracture of a silicon micro-beam, a promising m […]
10×10静電容量型加速度センサアレイ
静電容量型加速度センサは携帯電話，自動車など幅広く利用されています．本研究の目的はこのセンサの高感度化を行うことです．このため感度のスケール効果に着目し,体積を変えずに感度を向上させるアレイ構造を提案し，検証のため10×10個の1軸加速度セ […]
Electromagnetic-driven deformable mirror device
Adaptive optics (AO) is a significant device that corrects the wave front aberrations. This system is composed of a defo […]
薬物動態試験用マイクロ流体デバイス
創薬プロセスにおける動物試験は，ヒト体内環境と異なるため信頼性が低く，創薬には莫大な時間と費用がかかります．そのため，動物試験に代わる信頼性の高い新たな薬剤試験法が求められています．そこで我々はヒト由来の肝細胞と心筋細胞を培養し，グレースケ […]
磁性粒子分散感光性PDMSのリソグラフィ
MEMSに代表される微小なデバイスへの応用が期待される新しい材料に、母材とフィラーの2つの材料を組み合わせたコンポジットマテリアルがあります。これをリソグラフィで微細加工を行うためには母材中に分散しているフィラー濃度が重要なパラメータとなり […]
駆動電極可動型MEMS静電可変形状ミラー
眼底検査の検査光は，眼球の歪みや大気の振動によって歪んでしまうため，光の波面収差をリアルタイムかつ精密に補正する技術が必要となります．その手法として，変形させたミラー面に波面を反射させて補正する可変形状ミラーが注目されています．当研究室では […]
リンカー構造によるCNTのDNAオリガミ上への固定
DNAオリガミはナノ材料を固定するブレッドボードとなります．一本鎖DNAはCNTに巻きつく性質があるので，その一本鎖DNAをDNAオリガミに組み入れることで，CNTはDNAオリガミに固定することができます．本研究の目的は，DNAオリガミにC […]
マイクロ流体デバイスを用いたDNAナノ構造体の精製
DNAナノ工学分野において，DNAナノ構造体の作成後，設計通りに作製できたDNAナノ構造体のみを分離・収集するプロセスを精製といいます．従来の精製はゲル電気泳動という伝統的な手法を利用していますが，この手法は12時間以上を必要とする手法であ […]
Si振動子の時間分解顕微ラマン応力測定
顕微ラマン分光法を用いて単結晶シリコン面外振動試験片に生じる動的局所応力の時間分解測定を目的としています．動的応力の時間分解測定には，顕微ラマン分光装置の励起光としてパルスレーザを用いる必要があるため，本研究では連続波レーザを機械的に変調す […]
寸法効果を用いたサブミクロンギャップ静電容量加速度センサアレイ
静電容量型MEMS加速度センサは民生品,自動車など幅広く利用されています. 本研究の目的は高感度,低ノイズ化です.本研究では感度の寸法効果に着目し,体積を変えずに感度を向上させるアレイ構造を提案し,実現性を検証するために10×10個平面構造 […]
単結晶シリコンマイクロ構造の高温機械特性
過酷環境下で動作するMEMSデバイスの信頼性向上のためには，機械特性に及ぼす周囲環境の影響の把握が重要です．MEMSで広く用いられる単結晶シリコンは室温では脆性破壊を起こし，高温では延性破壊を起こすことが知られています．本研究では，この脆性 […]
