眼底検査の検査光は，眼球の歪みや大気の振動によって歪んでしまうため，光の波面収差をリアルタイムかつ精密に補正する技術が必要となります．その手法として，変形させたミラー面に波面を反射させて補正する可変形状ミラーが注目されています．当研究室では，低電圧での大変位を実現する新しい可変形状ミラーの構造を提案し，本研究では，その構造の作製プロセスの確立およびデバイス作製，ミラー形状制御のための簡易な数理解析モデルの構築を行っています．
【応用先】
- 眼底検査における波面補償素子
- 天文観測
【発表】
- Large-displacement electrostatic deformable mirror with movable bottom electrodes
The 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN 2014), Glasgow, Scotland (17-21 Aug. 2014), pp.119-120.