静電容量型加速度センサは携帯電話，自動車など幅広く利用されています．本研究の目的はこのセンサの高感度化を行うことです．このため感度のスケール効果に着目し,体積を変えずに感度を向上させるアレイ構造を提案し，検証のため10×10個の1軸加速度センサを平面状に配列したデバイスを設計，作製し，感度を評価しました．
【応用先】
- 地震の計測
- 固有振動数解析によるビルや橋梁の劣化具合の調査
【学会発表】
- “A sub-micron-gap SOI capacitive accelerometer array utilizing size effect”, The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, Anchorage, 2015
- 「サブミクロンギャップを有するSOI 静電容量型加速度センサアレイ」，第32回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム，平成27年10月28日