シリコンナノワイヤ(SiNW)は優れた機械的・電気的特性を有することから，これを
構造体要素として用いた幅広い応用デバイスが注目されています．応用デバイスの実用化と信頼性の向上には，実際に応用デバイスで用いられるSiNWと同一の作製プロセスを経たSiNWの機械特性の評価が必要です．本研究では,SiNWの引張強度評価のため，MEMS上へのSiNW集積化プロセスの開発とそのプロセスにより作製されたSiNWの引張試験を行っています．
[応用先]
- 高速・低消費電力電界効果トランジスタ
- 高感度バイオセンサ
- ナノ共振子
[発表]
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T. Hemmi et al., 26th Micromechanics and Microsystems Europe workshop, 2015.
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T. Hemmi et al., 第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2015.