単結晶シリコン薄膜の高温引張試験
MEMSの主な構造材料は，シリコン，シリコン化合物，金属薄膜などです． シリコンの機械的特性には温度依存性があることが知られていましたが，近年，寸法依存性があることも報告されており，その機械的特性の寸法依存性の評価が課題となっています．そこ […]
Research
シリコンマイクロ構造体の信頼性評価
MEMSデバイスの構造材料として，半導体材料であるシリコンは広く用いられていますが，脆性材料であることからその機械的信頼性が課題となっています．マイクロ構造の引張試験，疲労試験などの試験手法の開発から測定，更にはさまざまな影響 (結晶異方性 […]
静電可変形状ミラーデバイス
Adaptive optics (AO) is a significant device that corrects the wave front aberrations. This system is composed of a defo […]
細胞分別マイクロ流体システム
近年，微細加工技術を用いて作製したマイクロ流路を，バイオ・医療分野に応用する研究が盛んに行われています．我々は，当研究室独自の3次元フォトリソグラフィ手法である「移動マスクUV露光法」を用いて作製したマイクロ流路を泌尿組織の癌診断に応用する […]
集積化SiナノワイヤのMEMS引張試験
Siナノワイヤは機械的・電気的特性に優れ，これをナノスケール構造体要素として用いた幅広い応用デバイスが注目されています．これらのデバイスの実現と信頼性の向上のため，MEMS構造体への一括集積化技術とその機械特性評価をおこなっています． 【応 […]
振動ジャイロの加速度感度
We investigated the source of acceleration sensitivity in fabricated tuning fork gyroscope (TFG) by using in-plane and o […]
超音波振動によるDNAオリガミのセルフアセンブル収率向上
超音波振動によるDNAオリガミのセルフアセンブル収率向上 次世代の微細加工技術として，DNAで作成される100nmオーダーの2次元構造体のDNAオリガミを利用して，ナノスケールの多種多様な材料をMEMSに実装する研究を行っています．複数種類 […]
顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン微細構造の動的応力解析
振動する単結晶シリコン微細構造に負荷される瞬間ごとの応力の実験的な評価を目指しています。本研究は、単結晶シリコンを主な構成材料とするMEMS構造の機械的な信頼性評価・保証に役立つことが期待されます。応力評価には、顕微ラマン分光法を用います。 […]
Developing MEMS Tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity
MEMS technology provide us low cost, high functionality, small size, and easily integrated with ASIC. Therefore, MEMS vi […]
金ナノロッドの基板上成長を応用したナノギャップ電極の作製
単分子トランジスタなどのナノデバイスの実現に向け、数nmの間隔を持つ対向電極（ナノギャップ電極）を効率的に作製する手法が求められている。本研究では金ナノロッドと呼ばれる棒状のナノ粒子を絶縁膜基板上で成長させることで、ナノギャップを有するナノ […]
MEMSデバイスを用いたCarbon Nanotube引張試験
統計評価可能な測定数実現をめざし、カーボンナノチューブ（CNT）引張試験法を開発しています。CNTは極めて微小なため欠陥がその強度に大きく影響し、測定結果がばらつくことが予想されます。しかし、従来の測定法ではCNTを測定系に組み込む工 […]
大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築
MEMSデバイスは半導体微細加工技術を用い，微小な機械構造を電子回路とともに作りこむものです．そのためMEMSデバイスの設計や解析においては電気系・機械系の複雑な練成解析が必要となります．そこで，電気系と機械系を一度に解析することができる電 […]
