Si振動子の時間分解顕微ラマン応力測定
顕微ラマン分光法を用いて単結晶シリコン面外振動試験片に生じる動的局所応力の時間分解測定を目的としています．動的応力の時間分解測定には，顕微ラマン分光装置の励起光としてパルスレーザを用いる必要があるため，本研究では連続波レーザを機械的に変調す […]
Actuators
シリコン振動子の動的局所応力測定
MEMSは振動環境下にさらされる工業製品に搭載されることがあり，工業製品の信頼性向上には，振動により内部のMEMSに生じる動的な応力を測定することが有用であると考えられます．本研究では時間分解顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン面外振動子に […]
静電可変形状ミラーデバイス
Adaptive optics (AO) is a significant device that corrects the wave front aberrations. This system is composed of a defo […]
静電容量型超音波トランスデューサにおけるメンブレン構造の最適化
次世代の医療用超音波診断用探触子として注目されている静電容量型振動子（cMUT）において，更なる低電圧駆動化と高感度化を実現するメンブレン構造の最適設計に取り組んでいます．cMUTは電極として機能するメンブレンおよび基板から構成されており， […]
形状記憶合金薄膜アクチュエータの基礎技術とその応用
近年加速的にデバイスの小型化が進み，これに伴い小型でかつ高性能なマイクロアクチュエータのへの要望が高まっている． 一般的なマイクロアクチュエータである静電気力駆動型は小型化・変位・応答性，また圧電駆動型は出力・応答性の点で優れている． しか […]
