静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラーの開発


眼底検査の際に発生する光学収差(光の波面の歪み)は撮像の解像度の低下の原因となるため、より高解像度な観察を行うために可変形状ミラーを用いた補償光学系が用いられます。一般に眼底検査に用いる可変形状ミラーには直径10mmほどのミラー面の形状を最大変位約3μmの範囲で制御する必要があります。当研究室では従来の可変形状ミラーでは困難であった凸変形および低電圧駆動を実現する新しい構造を提案し、その実現に向けた研究を行っています。

応用先

  • 眼底検査における波面補償素子

【論文・国際会議】

  • 宇野亜季子,平井義和,土屋智由,田畑修
    静電ピストンアレイ駆動型MEMS可変形状ミラーの数理解析モデル構築
    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),Vol.138-E, No.2, 2018, pp. 66-73.

  • Akiko Uno, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mathematical Modeling and Analysis of MEMS Deformable Mirror Actuated by Electrostatic Piston Array, Electrical Engineering in Japan.  Vol. 204, Issue 2, 2018, pp. 50-60. 
  • Akiko Uno, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya
    Zernike Generation with MEMS Deformable Mirror Actuated by Electrostatic Piston Array
    The 31st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2018), Belfast, Northern Ireland, (January 21-25, 2018), pp. 704-711.