(100) 単結晶シリコン寸法補償同調型リングジャイロ

A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyrosc ...
ニオブ酸リチウム単結晶ディスク圧電ジャイロ

単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した.
振動ジャイロの加速度感度

We investigated the source of acceleration sensitivity in fabricated tuning fork gyroscope (TFG) by ...