面取り矩形支持ばねを用いた(100)単結晶シリコンリング型振動ジャイロの理論解析振動ジャイロの理論解析
小型で低価格なセンサの需要が高まる中，回転時に生じるコリオリ力により変化した振動方向の検出により角度や角速度を測定できるMEMS振動ジャイロが注目されている．先行研究では数値解析で寸法を最適化している ...
圧電円筒型振動ジャイロの開発
近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている．そんな中小型、低価格、高性能であるMEMS圧電振動ジャイロが注目を集めている。先行研究では高 ...
円筒型圧電振動ジャイロの開発
近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている．そんな中小型、低価格、高性能であるMEMS圧電振動ジャイロが注目を集めている。先行研究では高 ...
モードマッチ(100)Siリングジャイロ
近年、IoT社会の到来でセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS円環型振動ジャイロが注目されています。先行研究では、加工コストが低く材料特性のばらつきが小さい(100)単結晶シリコンを材料 ...
円筒型圧電振動ジャイロ
近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている．そんな中小型、低価格、高性能であるMEMS圧電振動ジャイロが注目を集めている。先行研究では高 ...
(100)単結晶シリコンリングジャイロ
近年、IoT社会の到来によりセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS振動リング型ジャイロは小型・低価格・高性能であることから、注目を集めている。先行研究では、一般的に使用されている材料より ...
(100) Si円環型振動ジャイロ
A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyrosc ...
ニオブ酸リチウム単結晶ディスク圧電ジャイロ
MEMS振動ジャイロの大幅な性能向上を目的として単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した．弾性特性，圧電特性において結晶異方性を有するニオブ酸リチウムでモードマッチングしたワ ...