Actuators

ねじれ梁型MEMSミラーは鏡の両側にある支持梁のねじれ振動にて反射光を走査する光学素子で，内視鏡・Lidar等の空間スキャナへの応用に向け高性能化が望まれるが，鏡面たわみや梁応力により性能制限がある． ...

MEMSミラーは鏡の両側にある支持梁のねじれ振動にて反射光を走査する光学素子で、内視鏡・Lidar等の空間走査システムへの応用に向け高性能化が望まれています。しかし、現状鏡面のゆがみや梁応力により性能 ...

超小型宇宙機に搭載可能な新たな推進機として注目されているイオン液体エレクトロスプレースラスタ（ILEST）の開発を行っています．ILESTはイオン液体を推進剤として用い，電圧印加によりイオンを引き出す ...

ねじり梁を用いたMEMSミラーはセンサーやメディアデバイスに用いられる重要な要素部品です. MEMSミラーは基板材料としてバルクSiウエハを用いることで従来のSOIウエハに比べ大幅に材料コストを低減す ...

Siで構成されるMEMSアクチュエータと，構造を封止する透明材料の接合プロセスとして水蒸気プラズマ処理を用い，常温での異種材料接合を行いました．

MEMSミラーデバイスは主にSOIウエハとバルクシリコンウエハの2種類から作製され，製法によりデバイスの形状やコストの点に違いがあります．本研究では，2種類のウエハからそれぞれミラーデバイスを作製し， ...

ねじり梁型MEMSミラーはレーザーの反射角度を連続的に変化させることで空間を走査を実現するデバイスです．近年では車載用測距センサ用に用いられることもあり，高速・大走査角という条件下での信頼性の向上が求 ...

ねじり梁を用いた振動型MEMSミラーは，ねじり梁に支持されたミラーを振動させることでレーザー光などの空間走査を実現するデバイスです．プロジェクタや距離画像センサといった用途として期待されており，ねじり ...