面取り矩形支持ばねを用いた(100)単結晶シリコンリング型振動ジャイロの理論解析振動ジャイロの理論解析

小型で低価格なセンサの需要が高まる中,回転時に生じるコリオリ力により変化した振動方向の検出により角度や角速度を測定できるMEMS振動ジャイロが注目されている.先行研究では数値解析で寸法を最適化している ...
MXene/bentonite薄膜を用いた高感度湿度センサの開発

湿度センサーは現代技術に不可欠であり、優れた感度と精度を持つTi3C2Tx MXeneが広く利用されている。 Ti3C2Tx MXeneは豊富な親水性官能基と高い電気伝導性を有しているため,高感度で高 ...
圧電円筒型振動ジャイロの開発

近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている.そんな中小型、低価格、高性能であるMEMS圧電振動ジャイロが注目を集めている。先行研究では高 ...
MEMSリザバーコンピューティング

非線形物理ダイナミクスを計算資源として活用した物理リザバーコンピューティング(PRC)が注目されており, PRCを実装したデバイスに情報処理を行わせることでネットワーク負荷の軽減が期待されています. ...
周波数領域サーモリフレクタンス

近年の半導体デバイスの微細化に伴い、ナノ・マイクロスケールでの伝熱現象の重要性は増大しているが、ナノ・マイクロスケールでの熱計測の困難さもあり、未解明な点が多く残されている現状がある。そのため、ナノ・ ...
Training MEMS devices for forecasting epileptic-seizures

Epilepsy is a chronic neurological disorder of the central nervous system that causes sudden loss of ...
Diamond nanoresonators for sensing and information processing

Nanoresonators are capable of ultrasensitive sensing and efficient information processing. Use of di ...
共振型加速度センサを用いた MEMSリザバーコンピューティング

非線形物理ダイナミクスを計算資源として活用できるリザバーコンピューティングはポスト・ムーアのコンピューティング技術の1つとして期待されています。本研究は非線形MEMS共振器を有する共振型加速度センサを ...