Nanogap

真空による高熱絶縁性や、ギャップ間隔がナノメートルオーダの電極間における熱電子放出・電界電子放出による高い導電性により，真空ナノギャップが小型で高効率の熱発電デバイスとして期待されている．大面積かつ平 ...

We have developed a microelectromechanical system (MEMS) to fabricate large area nanogap electrodes. ...

真空ナノギャップ電極は通常の物質では困難な熱発電効率を飛躍的に向上し得るとして注目されているが、従来の方法で作製できるナノギャップ電極の対向面は平行平滑でなく、面積も小さい。そのため、発電量が小さいと ...

We developed a microelectromechanical system (MEMS) to fabricate nanogap electrodes of uniform gap-s ...

A microelectromechanical system (MEMS) is being developed for controlled fracture of a silicon micro ...

半導体微細加工技術を用いて作製した単結晶シリコンMEMSデバイスの梁構造に(111)面でへき開破壊を用いて数μm角の均一でかつ原子レベルで平滑なナノギャップ構造を作製する技術を確立，電気伝導特性を測定 ...

A microelectromechanical system (MEMS) is being developed for controlled fracture of a silicon micro ...

近年，ナノギャップ電極が高い熱電発電効率を実現するという報告があり，熱発電デバイスへの応用が期待されています．そのため，ナノギャップにおける電気特性と熱移動特性の評価が必要となっています．また，現在の ...