単結晶シリコンねじり梁を用いた振動型ミラーの共振疲労試験

ねじり梁を用いた振動型MEMSミラーは,ねじり梁に支持されたミラーを振動させることでレーザー光などの空間走査を実現するデバイスです.プロジェクタや距離画像センサといった用途として期待されており,ねじり ...
静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラーの開発

眼底検査の際に発生する光学収差(光の波面の歪み)は撮像の解像度の低下の原因となるため、より高解像度な観察を行うために可変形状ミラーを用いた補償光学系が用いられます。一般に眼底検査に用いる可変形状ミラー ...
静電型ピストンアレイ駆動のMEMS可変形状ミラーの開発

眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため,リアルタイムかつ精密に補正する必要があり,その手法として,変形させたミラー面に光を反射させて補正する可変形状ミラーが注目されています.当研究室 ...
シリコンナノワイヤを用いたねじり梁型共振ミラー

ねじり梁型共振ミラーはレーザーの反射角度を変えて空間を走査するデバイスです.近年では車載用測距センサ用に用いられることもありますが,そのためには性能と信頼性の向上が求められます.本研究ではミラーの小 ...
静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラー

眼底を観察する際に光の収差を補正するデバイスとして可変形状ミラーが用いられます.当研究室では従来の静電駆動による可変形状ミラーでは困難である,より大きな変位,自由度の高い変形を実現するためピストン構造 ...
静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラー

眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため,リアルタイムかつ精密に補正する必要があり,その手法として,変形させたミラー面に光を反射させて補正する可変形状ミラーが注目されています.当研究室で ...
駆動電極可動型MEMS静電可変形状ミラー

眼底検査の検査光は,眼球の歪みや大気の振動によって歪んでしまうため,光の波面収差をリアルタイムかつ精密に補正する技術が必要となります.その手法として,変形させたミラー面に波面を反射させて補正する可変形 ...
Si振動子の時間分解顕微ラマン応力測定

顕微ラマン分光法を用いて単結晶シリコン面外振動試験片に生じる動的局所応力の時間分解測定を目的としています.動的応力の時間分解測定には,顕微ラマン分光装置の励起光としてパルスレーザを用いる必要があるため ...