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シリコンへき開破壊によって作製したナノギャップ間電子放出の温度依存性評価を行う

せん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計,作製し高い負荷周波数での引張疲労試験の実現を目指します.

Diffracted X-ray Tracking (DXT) method is real-time imaging technique to measure dynamic conformational change of ion ...

Comparing with the mature SOI-based micro mirror resonator, the Si-based micro mirror resonator is possible to provid ...

Siで構成されるMEMSアクチュエータと,構造を封止する透明材料の接合プロセスとして水蒸気プラズマ処理を用い,常温での異種材料接合を行いました.

A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyroscope (VRG) with no ...

単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した.

Development of a new vacuum sealing technology for MEMS resonating devices such as gyroscopes and resonant mirrors.