フォノニック結晶導波路を用いたLoveモード表面弾性波デバイスの解析

表面弾性波(SAW)デバイスは高周波信号処理に広く用いられている。しかし、次世代アプリケーションの開発では、従来のSAWデバイスの損失が困難となっており、低損失デバイスの必要性が高まっている。そこで、 ...
ダイヤモンドNEMS共振器デバイスの作成に向けたナノパターニングおよびドライエッチングプロセスの検討

ナノファブリケーション技術は驚異的なペースで進化し、デバイスの微細化、高集積化、高感度化、低消費電力化を可能にしています。ナノエレクトロメカニカルシステム(NEMS)は、半導体基板上のナノスケールの機 ...
面取り矩形支持ばねを用いた(100)単結晶シリコンリング型振動ジャイロの理論解析振動ジャイロの理論解析

小型で低価格なセンサの需要が高まる中,回転時に生じるコリオリ力により変化した振動方向の検出により角度や角速度を測定できるMEMS振動ジャイロが注目されている.先行研究では数値解析で寸法を最適化している ...
MXene/bentonite薄膜を用いた高感度湿度センサの開発

湿度センサーは現代技術に不可欠であり、優れた感度と精度を持つTi3C2Tx MXeneが広く利用されている。 Ti3C2Tx MXeneは豊富な親水性官能基と高い電気伝導性を有しているため,高感度で高 ...
熱伝導現象を用いた物理リザバーコンピューティング

IoT社会の実現に向けた計算負荷低減にむけて、非線形物理現象の過渡的な状態変化を利用した物理リザバーコンピューティング(PRC)という機械学習モデルが注目されている。本研究では熱伝導現象を用いたPRC ...
物理リザバーコンピューティングへの実装に向けた熱音響位相変調器の開発

物理リザバーコンピューティングへの応用を目指し熱音響位相変調器の設計開発し、それを物理リザバーシステムへ実装し学習性能をベンチマークによって検証した。提案する変調器は表面弾性波デバイスであり、ヒーター ...
超小型人工衛星用イオン液体エレクトロスプレースラスタの開発

超小型人工衛星に搭載可能な新たなスラスタとしてイオン液体エレクトロスプレースラスタ(ILEST)が注目されている。ILESTでは推進剤としてイオン液体が用いられており、電圧を印加することでエミッタ先端 ...
MEMS結合振動子を用いた機械学習の多元化

近年,高速かつ省消費電力な機械学習の実装方法として物理リザバーコンピューティング(PRC)が注目されています.本研究では,MEMS非線形振動子アレイを用いたPRCにおける学習性能の向上を目指し,複数の ...