Actuators


シリコンナノワイヤ製ねじれ梁の寸法効果を利用した MEMSチルトミラーの高信頼化

ねじり梁型MEMSミラーはレーザーの反射角度を連続的に変化させることで空間を走査を実現するデバイスです.近年では車載用測距センサ用に用いられることもあり,高速・大走査角という条件下での信頼性の向上が求められます.本研究ではミラーの小型化及び […]


単結晶シリコンねじり梁を用いた振動型ミラーの共振疲労試験

ねじり梁を用いた振動型MEMSミラーは,ねじり梁に支持されたミラーを振動させることでレーザー光などの空間走査を実現するデバイスです.プロジェクタや距離画像センサといった用途として期待されており,ねじり梁の信頼性の把握が求められています.本研 […]


シリコンナノワイヤを用いたねじり梁型共振ミラー

 ねじり梁型共振ミラーはレーザーの反射角度を変えて空間を走査するデバイスです.近年では車載用測距センサ用に用いられることもありますが,そのためには性能と信頼性の向上が求められます.本研究ではミラーの小型化及びアレイ配置により性能を向上し,シ […]


静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラー

眼底を観察する際に光の収差を補正するデバイスとして可変形状ミラーが用いられます.当研究室では従来の静電駆動による可変形状ミラーでは困難である,より大きな変位,自由度の高い変形を実現するためピストン構造を採用した可変形状ミラーを提案し,研究が […]


静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラー

眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため,リアルタイムかつ精密に補正する必要があり,その手法として,変形させたミラー面に光を反射させて補正する可変形状ミラーが注目されています.当研究室では,ミラーの凸変形および低電圧駆動を実現 […]


磁性粒子分散感光性PDMSのリソグラフィ

MEMSに代表される微小なデバイスへの応用が期待される新しい材料に、母材とフィラーの2つの材料を組み合わせたコンポジットマテリアルがあります。これをリソグラフィで微細加工を行うためには母材中に分散しているフィラー濃度が重要なパラメータとなり […]


駆動電極可動型MEMS静電可変形状ミラー

眼底検査の検査光は,眼球の歪みや大気の振動によって歪んでしまうため,光の波面収差をリアルタイムかつ精密に補正する技術が必要となります.その手法として,変形させたミラー面に波面を反射させて補正する可変形状ミラーが注目されています.当研究室では […]