Research


[訓練DRILL]安否確認Safety Confirmation

各位  17時の時点で 田畑、土屋、平井、河野、沖野 Shu、建東 ホン、帯谷、霜降、宮崎、山崎、山内、張 清瀬、琴屋、松本 竹村、三浦、西邑 Peidong、Yuanlin から連絡があり、4名が、消息不明です 全員から連絡があるまで終わ […]


[訓練DRILL]安否確認Safety Confirmation

各位 現時点で 田畑、土屋、平井、河野 Shu ホン、帯谷、霜降、宮崎、山崎 清瀬、琴屋、松本 竹村、三浦、西邑 の無事が確認されその旨研究科に報告しました 引き続きまだのひとは連絡ください Please report your situa […]


X線一分子動態計測用観測チャンバの開発

X線一分子動態計測法は,標的イオンチャネルに修飾した金ナノ結晶に白色X線を照射し,金ナノ結晶からのX線回折点の運動を動画計測することで,イオンチャネルの動的構造変化を計測する手法です.従来の観測チャンバでは回折点観察像上の大きなバックグラウ […]


振動型ミラーに用いる単結晶シリコン梁のねじり強度の加工プロセス依存性評価

MEMSミラーデバイスは主にSOIウエハとバルクシリコンウエハの2種類から作製され,製法によりデバイスの形状やコストの点に違いがあります.本研究では,2種類のウエハからそれぞれミラーデバイスを作製し,初期強度や疲労寿命を測定することで,ミラ […]


せん断型ひずみゲージ集積化単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス

単結晶シリコンマイクロ構造について多数の試験片の引張疲労試験を短時間で行うためのデバイス開発を行っております.本研究では,荷重センサとして高剛性なせん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計,試作し高い負荷周波数での疲労試 […]


イオン液体エレクトロスプレースラスタの開発

重量数10kg以下級の超小型人工衛星に搭載するスラスタの開発を行っています.針状のエミッタに高電圧を印加することで,イオン液体からイオンを引き出し,加速させて推力を得る推進システムです.推力向上のためには,微細加工技術を用いてエミッタを高密 […]