Research


せん断型ひずみゲージ集積単結晶Si並列引張試験デバイス

単結晶シリコンマイクロ構造について多数の試験片の引張疲労試験を短時間で行うためのデバイス開発を行っております.本研究ではピエゾ抵抗効果のせん断効果を利用した高剛性なせん断型ひずみゲージ,およびそれを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計, […]


静電型ピストンアレイ駆動のMEMS可変形状ミラーの開発

 眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため,リアルタイムかつ精密に補正する必要があり,その手法として,変形させたミラー面に光を反射させて補正する可変形状ミラーが注目されています.当研究室では凸変形および低電圧駆動を実現する新し […]


シリコンナノワイヤを用いたねじり梁型共振ミラー

 ねじり梁型共振ミラーはレーザーの反射角度を変えて空間を走査するデバイスです.近年では車載用測距センサ用に用いられることもありますが,そのためには性能と信頼性の向上が求められます.本研究ではミラーの小型化及びアレイ配置により性能を向上し,シ […]


三角形DNAオリガミ二量体形成

DNAオリガミという技術によって作製したナノスケール構造体の二次元アレイは,多様な分野への応用が期待されています.本研究では,一本鎖DNAを用いた結合により三角形DNAオリガミの大規模二次元アレイを作製することを目的とし,その基礎となる二量 […]


静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラー

眼底を観察する際に光の収差を補正するデバイスとして可変形状ミラーが用いられます.当研究室では従来の静電駆動による可変形状ミラーでは困難である,より大きな変位,自由度の高い変形を実現するためピストン構造を採用した可変形状ミラーを提案し,研究が […]


薬物動態試験用マイクロ流体デバイス

細胞培養用マイクロ流体デバイスを使った創薬スクリーニング技術として,ヒト体内の薬物動態を模倣するBody on a Chipが注目されています。本研究では,細胞培養チャンバや体内循環を再現するためのマイクロポンプを集積したデバイスを作製し, […]