シリコンナノワイヤ(SiNW)は機械的・電気的特性に優れたナノ構造体であり，NEMS(Nano Electro Mechanical Systems)の構成要素としての応用が期待されています．NEMSの信頼性向上や長寿命化には，それらを構成するSiNWの機械特性を解明することが不可欠です．本研究では,SiNWの機械特性評価のため，MEMS引張試験デバイス上へのSiNW集積化プロセスを確立し，SiNWの引張試験を行うことを目的としています．
[応用先]
- 高速・低消費電力電界効果トランジスタ
- 高感度バイオセンサ
- ナノ共振子
