金ナノ粒子創製用マイクロ流体デバイス
金ナノ粒子はバルクと異なる光学的特性を有しているため，表面増強ラマン散乱(SERS)を用いた化学分析への応用が期待されている． 一般的に，金ナノ粒子は塩化金酸中のAuイオンを還元することで作製されるが，従来のバッチプロセスでは溶液中に還元 […]
Daily Archives: 2007/02/17
形状記憶合金薄膜アクチュエータの基礎技術とその応用
近年加速的にデバイスの小型化が進み，これに伴い小型でかつ高性能なマイクロアクチュエータのへの要望が高まっている． 一般的なマイクロアクチュエータである静電気力駆動型は小型化・変位・応答性，また圧電駆動型は出力・応答性の点で優れている． しか […]
DNAを用いた順序制御可能なマイクロチップアセンブリ
MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）にナノ・マイクロオーダーの機能部品をセルフアセンブルさせることで，その性能を飛躍的に向上させることができると期待されている．より高い機能を実現するためには，セ […]
粒子転写法によるナノ粒子パターニング
ナノメートルスケールの粒子は量子効果や局在表面プラズモンの発現，高い反応性などの特殊な性質を示す．本研究ではこれらの特性をデバイスや機能材料へと応用することを目指し，サブミクロン・ナノ粒子から成るナノ構造作製技術（粒子アセンブル技術） […]
ナノスケール材料引張試験用静電容量型MEMSデバイス
カーボンナノチューブ（CNT）やフラーレン（C60）に代表されるカーボンナノ材料の機械的性質評価について研究しています．我々は特に引張試験に着目し，これまで実現されていない，伸び検出分解能1nm，荷重検出分解能1nNでの高分解能なナノ材料引 […]
薄膜材料の引張疲労試験・高温引張試験
材料のサイズが非常に小さくなると，その機械特性は従来のマクロスケールの材料とは異なります． しかしMEMSデバイスの構造設計に不可欠な薄膜材料の機械的物性（引張強度，ヤング率，疲労特性，etc.）のデータベースは不足しています． ミクロサイ […]
厚膜フォトレジストの3次元微細加工技術
従来のフォトリソグラフィ技術では実現困難な３次元微細構造を厚膜レジストで実現するための微細加工技術として，「移動マスクＵＶ露光法」を提案し，露光機メーカーと共同開発した専用の露光機を駆使して，基礎から応用までの研究を展開しています．移動マス […]
