真空による高熱絶縁性や、ギャップ間隔がナノメートルオーダの電極間における熱電子放出・電界電子放出による高い導電性により,真空ナノギャップが小型で高効率の熱発電デバイスとして期待されている.大面積かつ平行平滑面を有するナノギャップを作製する手法として,我々は単結晶シリコンのへき開破壊を提案した.本研究では,SEM内で単結晶シリコンのへき開破壊によるナノギャップ形成と,ギャップ間隔制御,電流計測が可能なデバイス,システムにより,真空中におけるへき開ナノギャップの評価を行った.
【応用先】
- 熱発電デバイス
- 冷却素子