Monthly Archives: June 2019


振動型ミラーに用いる単結晶シリコン梁のねじり強度の加工プロセス依存性評価

MEMSミラーデバイスは主にSOIウエハとバルクシリコンウエハの2種類から作製され,製法によりデバイスの形状やコストの点に違いがあります.本研究では,2種類のウエハからそれぞれミラーデバイスを作製し,初期強度や疲労寿命を測定することで,ミラ […]


せん断型ひずみゲージ集積化単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス

単結晶シリコンマイクロ構造について多数の試験片の引張疲労試験を短時間で行うためのデバイス開発を行っております.本研究では,荷重センサとして高剛性なせん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計,試作し高い負荷周波数での疲労試 […]


熱電子発電のための へき開面ナノギャップの熱輸送特性評価

【応用先】 熱電子発電は高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し,発電を行う.本来,熱電子発電では1000℃程度の高温が必要であるが,エミッタとコレクタの距離をナノスケールにまで小さくしたもの,すなわちナノギャップを用い […]


熱電子発電のためのナノギャップデバイス

真空による高熱絶縁性や、ギャップ間隔がナノメートルオーダの電極間における熱電子放出・電界電子放出による高い導電性により,真空ナノギャップが小型で高効率の熱発電デバイスとして期待されている.大面積かつ平行平滑面を有するナノギャップを作製する手 […]