Monthly Archives: May 2011


高速脈動混合マイクロ流体デバイスによる均一粒子径金ナノ粒子の合成

高速脈動混合を利用することで均一なサイズの金ナノ粒子を合成する研究をしています.金ナノ粒子はサイズによって異なる特性を示すため,それぞれの応用目的に適したサイズの粒子を均一に合成する技術が必要とされています.そこで本研究では3方向脈動混合法 […]


原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止

幅広い応用分野での活躍が期待される原子磁気センサで中心的役割を果たすセル(アルカリ金属蒸気と不活性ガスを気密封止したガラス容器)内の雰囲気制御性の向上を目指した新規なMEMS気密封止技術の確立に取り組んでいます.提案手法のコンセプトは,セル […]


エポキシ系ネガレジストを用いた分子フィルタ付マイクロ流路の作製

  紫外線(UV)リソグラフィ技術を応用し、マイクロ流路などの3次元微小構造を加工する技術が注目を集めています。当研究室ではこれまでに、オリジナルな3次元リソグラフィ技術である移動マスク露光法を応用したエポキシ系ネガレジスト製マイクロ流路の […]


自己変位検出型静電櫛歯モデルを用いたMEMS振動ジャイロの電気等価回路解析

 本研究では,電気等価回路の静電容量型ジャイロの設計への応用を目指しております.静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムです.そのためシステム全体を等価な回路で表現し,周辺回路を含めたデバイス全体を統合 […]


ナノ・マイクロ加工の将来とナノハブへの期待 【5月11日】

去る5月11日に「京都大学・次世代低炭素ナノデバイス創製ハブ」の開設に関連して,「ナノ・マイクロ加工の将来とナノハブへの期待」シンポジウムを開催しました. 今回はナノ・マイクロ分野の第一線でご活躍される著名な4人の先生に,ナノ・マイクロ加工 […]