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静電容量型トランスデューサを中心に加速度センサ・角速度センサなどのセンサデバイス、光学素子などのアクチュエータデバイスの研究開発を行っています。

慣性センサ

単一マスの単結晶シリコン静電容量型3軸加速度センサ

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シリコンを中心とした微細加工技術、集積化技術に取り組んでいます。

イオン液体型エレクトロスプレイスラスタに用いるエミッタアレイ
(111)シリコンのへき開破壊を用いたナノギャップ作製

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マイクロシステム、MEMSのデバイスを用いたナノスケールにおける物理現象の計測技術を開発しています。

MEMSセンサでは微小な力や変位を高精度に計測しています。たとえば、加速度センサはニュートンの慣性の法則を用いて加速度を ...

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マイクロシステム・MEMSの機械的信頼性評価の研究

MEMSセンサ・アクチュエータは小型で可搬性が高いため輸送機械やポータブル機器での利用が盛んです。これらの「移動する」機械では動作時に振動や衝撃を受けることが多く、また、 ...

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