面取り矩形支持ばねを用いた(100)単結晶シリコンリング型振動ジャイロの理論解析振動ジャイロの理論解析

小型で低価格なセンサの需要が高まる中，回転時に生じるコリオリ力により変化した振動方向の検出により角度や角速度を測定できるMEMS振動ジャイロが注目されている．先行研究では数値解析で寸法を最適化しているが，計算コストが高く，様々な部分の寸法を高精度かつ短時間で最適化することが困難である．そこで，本研究では弾性率が異方的な材料によるリング型ジャイロの構造設計，寸法最適化のため，その理論解析法を提案した．

学会発表

  • Ayumu Takahashi, Shuya Okayama, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya, Theoretical Analysis of (100) Silicon Ring Gyroscope with Chamfered Rectangle Springs, The 11th IEEE International Symposium on Inertial Sensors & Systems (INERTIAL 2024), Hiroshima, JAPAN, March 25-28, 2024, pp.1-4, DOI: 10.1109/INERTIAL60399.2024.10502107
  • Ayumu Takahashi, Amit BanerJee, Jun Hirotani and Toshiyuki Tsuchiya, Kyoto Univ., Japan, (100) silicon ring gyroscope with rectangle springs aiming at frequency and thermoelastic Qfactor matching, 37th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2024), Kyoto, Japan, Nov. 12-15, 2024, 15P-1-48
  • 高橋歩夢*，霜降真希，Amit Banerjee，廣谷潤，土屋智由，（100）単結晶シリコンリング型振動ジャイロにおける矩形支持ばねを用いた共振周波数とQ値の同時マッチング，第15回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」，仙台，2024年11月25‐28日，26A3-PN-24

Research,SensorGyroscope,Silicon