研究室


【研究室の概要】

京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム研究室は,田畑教授,土屋准教授,中村准教授,平井助教,博士課程5名,修士課程12名,学部生7名,研究員3名,秘書2名で構成されています(2017年4月現在).

ナノ・マイクロシステム工学研究室では,機械・電気・化学・光・バイオなどの種々の領域で動作する機能部品をマイクロメータからナノメータの微小領域に集積化することによって,新規でユニークな機能を発現させるマイクロ・ナノシステムの実現と関連する基盤技術の構築を目的としています.その最終目標はナノ・マイクロシステム実現に最適な材料工学,システム設計工学,微細加工学,アセンブル工学の体系化(SENS:Synthetic Engineering for Nano Syatem)としています.

半導体微細加工設備は,主に京都大学ナノテクノロジーハブ拠点(ナノハブ)機械系専攻の共同利用クリーンルームを利用しており,研究室では独自開発した微細加工装置および評価,解析用の装置を保有しています.

 

【主な研究テーマ】

  • 3次元ナノ・マイクロ加工における設計論の確立とナノ・マイクロシステムへの応用
  • MEMSとDNAナノテクノロジーの融合によるNEMS創製
  • ナノ・マイクロ材料/デバイスの機械的信頼性評価
  • ナノ・マイクロセンサ/アクチュエータの設計、加工、評価技術
  • 再生医療用ナノ・マイクロシステムの創製と応用

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【シンポジウムなど学術・社会活動】

 

MicRO Alliance (京都大-ミシガン大-フライブルク大 3大学連携シンポジウム)

 

有機機能材料のリソグラフィ加工コンソーシアム

 


 

  • 2007年のものです
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