研究室

2021年2月

ナノ・マイクロシステム工学研究室では主に半導体微細加工技術で作製するナノ・マイクロスケールの機械、すなわちナノ・マイクロシステムに関する研究をしています。この領域では寸法効果によってマクロの機械とは異なった現象、たとえば身近にありながらあまり注目されない静電気気体の粘性、さらには量子効果に基づく現象を取り扱い、機械工学を新しい視線で理解することが求められています。我々は最新の加工技術、計測・評価技術、設計・解析技術を駆使して、これからの社会で利用される新たな機械を創成することを目指しています。

メンバー

教授:土屋 智由、 講師: Amit Banerjee、 助教:平井義和
秘書1名、研究員2名
学生:博士課程5名、修士課程7名、学部生6名 (2021年4月現在)

活動拠点

主な装置

  • 薄膜引張試験装置群 (自作)
  • 顕微ラマン分光装置 (HORIBA, LabRAM HR-800)
  • 走査電子顕微鏡 (JEOL JSM-6390)
  • プローバ(雄山)レーザトリミング装置(Hoya)付き
  • デジタルロックインアンプ(Zurich Instruments, HF2-LI, MF-LI)
  • インピーダンスアナライザ (Keysight, 4294A)

機械系クリーンルーム設置

【研究テーマ】

2015年3月11日