単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度
単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり，MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です．単結晶シリコンは脆性材料であることから，破壊強度はさまざまな要因によって大きく変化することが報告されてます．本研究では […]
Research
シリコンナノワイヤのMEMS引張試験
シリコンナノワイヤ(SiNW)は機械的・電気的特性に優れたナノ構造体であり，NEMS(Nano Electro Mechanical Systems)の構成要素としての応用が期待されています．NEMSの信頼性向上や長寿命化には，それらを構成 […]
DNAオリガミのシリコン基板上選択的固定
多種多様なナノ材料で構成されるナノ機能構造の集積化によるMEMSの高機能化が期待されています．そのアプローチの一つとして，ナノ材料を配置したDNAオリガミをシリコン基板上にセルフアセンブルすることでMEMSにナノ機能構造を集積化する手法確立 […]
一本鎖DNA修飾CNTの電気・機械特性評価
カーボンナノチューブ（CNT）は興味深い特性を併せ持つことから微小な電気回路やセンサの構成要素としての応用が期待されています．しかし現状では複数のデバイス上への一括集積化手法は確立されていません．そこで我々は一本鎖DNAを用いたCNTの一括 […]
Mechanical properties characterization of DNA origami
DNA origami is one of the most promising methods to form nano-scale structures or Nano/micro systems. However the effect […]
プロセス最適化シミュレータ
MEMSの加工技術として厚膜フォトレジストの３次元形状加工・グレースケールフィソグラフィが注目されています。しかし設計した通りに３次元形状の高精度作成が難しく、最適な加工パラメータ（例：マスクパタンー、焦点位置、現像時間）の組み合わせを決定 […]
へき開破壊によるナノギャップ創製
近年，ナノギャップ電極が高い熱電発電効率を実現するという報告があり，熱発電デバイスへの応用が期待されています．そのため，ナノギャップにおける電気特性と熱移動特性の評価が必要となっています．また，現在のナノギャップの作製手法では，対向する2面 […]
シリコン振動子の動的局所応力測定
MEMSは振動環境下にさらされる工業製品に搭載されることがあり，工業製品の信頼性向上には，振動により内部のMEMSに生じる動的な応力を測定することが有用であると考えられます．本研究では時間分解顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン面外振動子に […]
創薬試験のためのマイクロ流体システム
現在の創薬プロセスでは心臓や肝臓などの各種臓器に対する薬物のさまざまな副作用が問題となっています。そこで、ヒト多能性幹細胞（iPS細胞）から分化した組織をマイクロ流体デバイス内に培養し、人の体内でおこる現象をチップ上で再現します。 【応用先 […]
3軸加速度センサのマトリックス感度校正
3軸加速度センサの感度をベクトル量で表す「マトリックス感度校正」が提案されています．本手法の実用化のためには複数個のセンサを並べて同時に測定する技術が必要です．本研究では測定の際に問題となる振動台の回転運動や各センサの取付位置関係の影響評価 […]
DNA origami purification on a chip
After synthesized, DO(DNA Origami) solution contains tons of single-stranded DNA, mis-folded DO as well as well-folded o […]
ＤＮＡオリガミのシリコン基板への選択的配置
現在，多種多様なナノ材料で構成されるナノ機能構造の集積化によるMEMSの高機能化が期待されている．そのためのアプローチの一つとして，我々はナノ材料を配置したDNAオリガミをシリコン基板上にセルフアセンブルすることでMEMSにナノ機能構造を集 […]
